| 摘要 |
1. Устройство для получения эпитаксиальных слоев нитрида алюминия на карбидокремниевой подложке, включающее тигель, карбидокремниевую подложку, гранулы нитрида алюминия, отличающееся тем, что тигли установлены друг на друге и составляют набор, который помещен с зазором внутри графитового контейнера с крышкой. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в состав набора входят ростовые тигли, изготовленные из нитрида алюминия и компенсационные тигли из графита, причем компенсационные тигли заполнены гранулами нитрида алюминия, а на дне ростовых тиглей установлены карбидокремниевые подложки. ! 3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что донья тиглей выполнены с выточками, сопрягаемыми с их горловинами. |
