| 发明名称 | 一种芯片拾取与翻转装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种芯片拾取与翻转装置，包括支撑机构、翻转驱动机构和芯片吸取机构，芯片吸取机构包括直线导向运动部件和设在其底端的芯片吸取元件，直线导向运动部件内设有直线轴承和弹簧，直线导向轴从上往下依次穿过直线轴承和弹簧连接芯片吸取元件。由于直线导向轴和弹簧的缓冲作用，芯片吸取元件跟随芯片上升一定的高度并将芯片吸住，再在翻转驱动机构的作用下旋转到达芯片供给位置。本实用新型一方面避免了非接触式吸取的不可靠性，另一方面也避免了刚性接触式吸取芯片因受力过大而损伤，实现了芯片的可靠与无损伤吸取和翻转。 | ||
| 申请公布号 | CN201522998U | 申请公布日期 | 2010.07.07 |
| 申请号 | CN200920229522.3 | 申请日期 | 2009.11.06 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 尹周平;蔡伟林;王瑜辉;熊有伦 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人 | 李智 |
| 主权项 | 一种芯片拾取与翻转装置，包括支撑机构、翻转驱动机构和芯片吸取机构，支撑机构固定翻转驱动机构，翻转驱动机构驱动芯片吸取机构吸取并旋转芯片，其特征在于，所述芯片吸取机构包括直线导向运动部件(37)和设在其底端的芯片吸取元件(38)；所述直线导向运动部件(37)包括固定在翻转驱动机构上的直线运动部件安装座(374)，其内开有导向轴孔，导向轴孔内安放有直线轴承(373)和弹簧(375)，直线导向轴(371)从上往下依次穿过直线轴承(373)和弹簧(375)连接芯片吸取元件(38)；直线运动部件安装座(374)的侧壁靠近直线导向轴(371)与芯片吸取元件(38)的相接处设有气管连接件(378)，直线导向轴(371)、芯片吸取元件(38)和气管连接件(378)之间的空隙形成气体密封腔。 | ||
| 地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||