发明名称 背面照射式图像传感器及其制造方法
摘要 一种背面照射式图像传感器,其包括:光敏器件和读出电路,位于第一衬底的正面;层间电介质层,位于所述第一衬底的正面;金属线,位于所述层间电介质层上;焊盘,具有阶梯部,位于所述层间电介质层上;以及第二衬底,与所述第一衬底的正面接合,处于所述层间电介质层、所述金属线和所述焊盘的上方。本发明能够解决边缘裸片损坏以及等离子体破坏等问题。
申请公布号 CN101771066A 申请公布日期 2010.07.07
申请号 CN200910265671.X 申请日期 2009.12.28
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 金文焕
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H04N5/335(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 郑小军;郑特强
主权项 一种背面照射式图像传感器,其包括:光敏器件和读出电路,位于第一衬底的正面;层间电介质层,位于所述第一衬底的正面,处于所述光敏器件和所述读出电路的上方;金属线,位于所述层间电介质层上;焊盘,具有阶梯部,位于所述层间电介质层上;以及第二衬底,与所述第一衬底的正面接合,处于所述金属线和所述焊盘的上方。
地址 韩国首尔