发明名称 |
背面照射式图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
一种背面照射式图像传感器,其包括:光敏器件和读出电路,位于第一衬底的正面;层间电介质层,位于所述第一衬底的正面;金属线,位于所述层间电介质层上;焊盘,具有阶梯部,位于所述层间电介质层上;以及第二衬底,与所述第一衬底的正面接合,处于所述层间电介质层、所述金属线和所述焊盘的上方。本发明能够解决边缘裸片损坏以及等离子体破坏等问题。 |
申请公布号 |
CN101771066A |
申请公布日期 |
2010.07.07 |
申请号 |
CN200910265671.X |
申请日期 |
2009.12.28 |
申请人 |
东部高科股份有限公司 |
发明人 |
金文焕 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H04N5/335(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
郑小军;郑特强 |
主权项 |
一种背面照射式图像传感器,其包括:光敏器件和读出电路,位于第一衬底的正面;层间电介质层,位于所述第一衬底的正面,处于所述光敏器件和所述读出电路的上方;金属线,位于所述层间电介质层上;焊盘,具有阶梯部,位于所述层间电介质层上;以及第二衬底,与所述第一衬底的正面接合,处于所述金属线和所述焊盘的上方。 |
地址 |
韩国首尔 |