电子束照射窗

摘要

本实用新型目的在于提供一种电子束照射窗，电子束照射窗的密封在角部，由柱塞而被弯曲时，使其角部的密封效果提高。扫描管的开口部密封面的角部上，设置数个弯曲密封用的柱塞，密封因同各柱塞的拼接弯曲时的弯曲角度构成比90°大的角度的位置，配置各柱塞。通过弯曲角度变大，在角部可将密封更均匀地变形，以提高密封效果。

主权项

一种电子束照射窗，由扫描管的下部法兰和窗压用的法兰构成以夹着窗箔，在前述下部法兰和前述窗箔之间添加金属制的密封而构成；其特征在于，在前述下部法兰开口部的角部上，设置多个柱塞以便前述密封被顺序拼接并弯曲；前述密封通过同前述各柱塞的拼接，在弯曲时的弯曲角度为比90°大的角度的位置，配置前述各柱塞。