一种欧姆接触式射频开关

摘要

本实用新型涉及一种欧姆接触式射频开关，包括信号电极、下电极、衬底及固定端固支于所述信号电极的悬臂梁，还包括斜拉梁，所述斜拉梁与所述悬臂梁的自由端连接，并通过锚点固支于所述衬底。采用本实用新型的技术方案，在RF开关的悬臂梁自由端加入斜拉梁，形成非对称桥式结构，使之同时具备金属膜桥式电容耦合RF开关对应力敏感度低和悬臂梁欧姆接触式RF开关可应用于较低频段的优点，从而提高欧姆接触式开关的成品率和可靠性。

主权项

一种欧姆接触式射频开关，包括信号电极、下电极、衬底及固定端固支于所述信号电极的悬臂梁，其特征在于，还包括斜拉梁，所述斜拉梁与所述悬臂梁的自由端连接，并通过锚点固支于所述衬底。