| 发明名称 |
CONTROL OF THE SPATIO-TEMPORAL UNIFORMITY OF A PULSED GAS LASER BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1609222(B1) |
申请公布日期 |
2010.06.30 |
| 申请号 |
EP20040718677 |
申请日期 |
2004.03.09 |
| 申请人 |
EXCICO GROUP N.V. |
发明人 |
MAKAROV, MAXIME;STEHLE, MARC |
| 分类号 |
H01S3/097;H01J1/00;H01S3/0971;H05G1/00;H01S3/104 |
主分类号 |
H01S3/097 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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