| 发明名称 | 用于水性清洗溶液的氟化磺酰胺表面活性剂 | ||
| 摘要 | 本发明涉及阴离子N-取代的氟化磺酰胺表面活性剂及其在清洗溶液和酸蚀刻溶液中的用途。该清洗和蚀刻溶液适用于多种基材，例如，可以清洗和蚀刻含氧化硅的基材。 | ||
| 申请公布号 | CN1926227B | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200580006889.3 | 申请日期 | 2005.02.01 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | 帕特里西亚·M·萨武;威廉姆·M·拉曼纳;迈克尔·J·帕伦特 |
| 分类号 | C11D1/00(2006.01)I;C11D11/00(2006.01)I;C11D3/02(2006.01)I | 主分类号 | C11D1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 郇春艳;郭国清 |
| 主权项 | 1.一种组合物，其包括：(a)至少10ppm的至少一种下式的表面活性剂：<img file="F2005800068893C00011.GIF" wi="371" he="169" />其中：R<sub>f</sub>是C<sub>2</sub>～C<sub>6</sub>全氟烷基；R是C<sub>2</sub>-C<sub>25</sub>烷基，羟烷基，氧化烷基胺，或任选含有链中氧、氮或硫原子的氨烷基；R<sup>1</sup>是式-C<sub>n</sub>H<sub>2n</sub>(CHOH)<sub>o</sub>C<sub>m</sub>H<sub>2m</sub>-的亚烷基，其中n和m独立地是1～6，o是0或1，及其中该亚烷基任选含有链中氧、氮或硫原子；X<sup>-</sup>是SO<sub>3</sub><sup>-</sup>；和M<sup>+</sup>是阳离子；(b)溶剂；和(c)氧化剂。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||