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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
摘要
申请公布号
DE10024266(B4)
申请公布日期
2010.06.17
申请号
DE20001024266
申请日期
2000.05.17
申请人
ROBERT BOSCH GMBH
发明人
BENZEL, HUBERT;SCHAEFER, FRANK;VOSSENBERG, HEINZ-GEORG
分类号
B81B3/00;G01L9/04;B81C1/00;G01L9/00;G01L9/06;H01L29/84
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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