基板支撑单元、使用该单元抛光基板的装置及方法

摘要

本发明所提供的是一种基板支撑单元以及使用该单元抛光基板的装置及方法。所述基板支撑单元在抛光过程中真空吸附所述基板的底面，并且支撑所述基板，以使所述基板向上与所述真空板隔离开，以便在后续清洗过程中清洗所述基板。因此，在所述基板支撑单元以及使用该基板支撑单元进行基板抛光的装置和方法中，在所述基板由所述单晶圆型基板支撑单元支撑的状态下，所述基板顶面上的抛光过程和所述基板顶面和底面上的后续清洗过程可以被顺序执行。

主权项

一种基板支撑单元，包括：真空板，用于真空吸附基板；夹持部件，插入贯穿所述真空板的孔中；以及驱动部件，垂直移动所述夹持部件以支撑放置在所述真空板上的基板，从而使所述基板向上与所述真空板隔离开。