发明名称 System and method of applying horizontally oriented arc-lamps in ellipsometer or the like systems
摘要 Control of the angle-of-incidence of a beam of electromagnetic radiation provided by a horizontally oriented arc-lamp in ellipsometer, polarimeter, spectrophotometer, reflectometer, or the like systems.
申请公布号 US7738105(B1) 申请公布日期 2010.06.15
申请号 US20060636761 申请日期 2006.12.11
申请人 LIPHARDT MARTIN M;HE PING;WELCH JAMES D 发明人 LIPHARDT MARTIN M.;HE PING;WELCH JAMES D.
分类号 G01N21/55 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人
主权项
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