充气设备之气嘴结构

摘要

本创作系提供一种充气设备之气嘴结构，系与存放半导体元件或光罩之一储存匣连接，用以将气体导入或导出该储存匣，其包含：一管体部，于其顶部外围环设有一凹槽以供容置一弹性套圈，该管体部并具有贯穿该管体部顶端之三个各自独立的第一气体通道且连通贯穿该管体部底端之一第二气体通道；及一基座部，系环设于该管体部之底部外围并具有供固定元件穿设之复数个穿孔以固定该气嘴结构。藉此，本创作可在气体总流量不变下减低充气之速度以使充气均匀并防止气体泄漏，而对晶片或光罩达到更完善的保护。

主权项

一种充气设备之气嘴结构，系与存放半导体晶片或光罩之一储存匣连接，用以将气体导入或导出该储存匣，该气嘴结构包含：一管体部，于其顶部外围环设有一凹槽以供容置一弹性套圈，该管体部并具有贯穿该管体部顶端之三个各自独立的第一气体通道，该等第一气体通道之底部系连通贯穿该管体部底端之一第二气体通道，其中，该第二气体通道之部分壁面系设有内螺纹；及一基座部，系环设于该管体部之底部外围，于该基座部上具有供固定元件穿设之复数个穿孔，以固定该气嘴结构。