一种高能离子注入机加速器设计方式

摘要

本发明公开了一种高能离子注入机加速器，该加速器包括以下部分：十个加速电极、一抑制电极、十一个卡圈、十个绝缘环、一低压法兰、一高压法兰、八根拉杆、十一个均压环、一接线杆。十个加速电极与低压法兰、绝缘环通过拉杆连接在一起；低压法兰端设有一个抑制电极；相邻各个加速电极之间用绝缘环隔离，采用密封圈真空密封；均压环为圆环形金属管，用卡圈固定于各加速电极的外缘。本发明最大特点是加速能力强，并采用等梯度工作方式，使电场更加均匀，加速电极采用迷宫式组合结构，有效防止带电粒子在加速过程中打到加速器的绝缘内壁上而造成的污染。

主权项

一种高能离子注入机加速器结构包括：十个加速电极、一低压法兰、一抑制电极、十一个卡圈、十个绝缘环、一高压法兰、八根拉杆、十一个均压环、一接线杆，其特征在于：加速电极采用迷宫式结构设计十个加速电极、低压法兰、绝缘环通过拉杆连接；低压法兰端设有一个抑制电极；相邻加速电极之间，设有绝缘环，并采用密封圈真空密封；均压环为圆环形金属管，用卡圈固定于十个加速电极的外缘。