薄膜晶体管数组基板及其制造方法

摘要

一种薄膜晶体管数组基板。在此薄膜晶体管数组基板的像素结构中，于第一金属层与第二金属层的下方设置图案化透明导电层，以替代大部分面积的第一金属层与第二金属层。如此，可提升像素结构的开口率、且同时保持良好的储存电容。另外，薄膜晶体管数组基板上的扫描焊垫包括第一图案化透明导电层、第一金属层与第三图案化透明导电层。第一金属层设置于第一图案化透明导电层上。第三图案化透明导电层经由位于第一金属层中的开口而与第一图案化透明导电层电性连接。因此，可降低扫描焊垫的接触阻抗，且薄膜晶体管数组基板上的数据焊垫也有类似的设计。此外，亦提出此薄膜晶体管数组基板的制造方法。

主权项

一种薄膜晶体管数组基板，其特征在于，包括：一基板，具有一像素区、与位于该像素区周边的一焊垫区；一图案化多晶硅层，设置于该基板上的该像素区中，该图案化多晶硅层包括一源极与一漏极；一第一图案化绝缘层，覆盖该图案化多晶硅层；一第一图案化透明导电层，设置于该第一图案化绝缘层上；一第一金属层，部分设置于该第一图案化透明导电层上，该第一金属层包括一栅极、与该栅极电性连接的一扫描线、以及设置于该像素区中的一共享线，其中，该共享线的下方设置有部分的该第一图案化透明导电层；一第二图案化绝缘层，覆盖该第一金属层，且该第一图案化绝缘层与该第二图案化绝缘层具有一第一开口，以曝露出该漏极；一第二图案化透明导电层，设置于该第二图案化绝缘层上，且部分该第二图案化透明导电层经由该第一开口电性连接该漏极；一第二金属层，部分设置于该第二图案化透明导电层上，其中，该第二金属层包括与该源极电性连接的一数据线，且该数据线下方设置有部分的该第二图案化透明导电层；一第三图案化绝缘层，覆盖该第二金属层、且具有一第二开口曝露出与该漏极电性连接的该第二图案化透明导电层；以及一第三图案化透明导电层，设置于该第三图案化绝缘层上，该第三图案化透明导电层包括一像素电极位于该像素区中，且该像素电极经由该第二开口电性连接该第二图案化透明导电层。