| 发明名称 | 衬底处理设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种衬底处理设备，其经设计以防止旋转的旋转轴的摆动。所述衬底包含旋转轴及连接部件。单元安置于所述旋转轴与所述连接部件之间以使所述旋转轴与所述连接部件彼此密切接触或单元安置于所述旋转轴下方以防止所述旋转轴的所述摆动。 | ||
| 申请公布号 | CN101728242A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200910206692.4 | 申请日期 | 2009.10.29 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 崔圭镇;罗圣闵;李义揆;全容汉;杨彻勋;李太浣;黄旭;金宣基 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 沈锦华 |
| 主权项 | 一种衬底处理设备，其包括：室，其具有反应空间；衬底坐落部分，其位于所述反应空间中；及旋转轴部分，其包括连接到所述衬底坐落部分的下部中心区域的旋转轴、所述旋转轴的一端以固定方式插入于其中的连接部件及使所述旋转轴与连接轴彼此紧密耦合的接触部件。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||