| 发明名称 | 气体回收利用装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种气体回收利用装置，可以将系统中的工艺气体在线增压收集，储存利用。其进气端与一个工艺腔体相连，其排气端与用气点相连，其特征在于，包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元，其中，增加单元与压力调节单元通过管线相连，压力检测和反馈单元通过信号控制增压单元的气体压力。 | ||
| 申请公布号 | CN201500538U | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200920075513.3 | 申请日期 | 2009.07.30 |
| 申请人 | 上海米开罗那机电技术有限公司;北京米开罗那机电技术有限责任公司 | 发明人 | 唐俊;李银生 |
| 分类号 | B01L1/00(2006.01)I;F24F7/00(2006.01)I | 主分类号 | B01L1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人 | 刘云贵 |
| 主权项 | 一种气体回收利用装置，其进气端与一个工艺腔体相连，其排气端与用气点相连，其特征在于，包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元，其中，增加单元与压力调节单元通过管线相连，压力检测和反馈单元通过信号控制增压单元的气体压力。 | ||
| 地址 | 201315 上海市南汇区康桥工业区康桥东路1388号4A厂房 | ||