发明名称 |
一种用于腐蚀氮化硅掩膜的浆料的清洗方法 |
摘要 |
本发明公开了一种用于腐蚀氮化硅掩膜的浆料的清洗方法,包括如下步骤:(1)在氨水溶液中超声清洗;(2)在纯水中超声清洗至少2次;(3)在稀盐酸溶液中超声清洗;(4)纯水喷淋;(5)循环纯水浸渍。本发明的清洗方法可以彻底清除硅片表面的浆料残留和各种杂质,防止了因残留浆料清洗不彻底对电池性能造成的负面影响。 |
申请公布号 |
CN101722155A |
申请公布日期 |
2010.06.09 |
申请号 |
CN200910234467.1 |
申请日期 |
2009.11.18 |
申请人 |
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;常熟阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯光伏科技(苏州)有限公司;阿特斯太阳能光电(苏州)有限公司;阿特斯光伏电子(常熟)有限公司;常熟阿特斯太阳能电力有限公司 |
发明人 |
王立建;王栩生;朱冉庆;章灵军 |
分类号 |
B08B3/00(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I;C11D7/04(2006.01)I;C11D7/08(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
陶海锋 |
主权项 |
一种用于腐蚀氮化硅掩膜的浆料的清洗方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在氨水溶液中超声清洗;(2)在纯水中超声清洗至少2次;(3)在稀盐酸溶液中超声清洗;(4)纯水喷淋;(5)循环纯水浸渍。 |
地址 |
215129 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号 |