液浸显微镜装置

摘要

本发明的目的是提供一种能够不损害基板的品质而非破坏地进行基板的液浸观察的液浸显微镜装置。因此，本发明的液浸显微镜装置具备：支承机构(11～13)，支承作为观察对象的基板(10A)；液浸类的物镜(14)；第1供给机构(15、16)，将超纯水作为观察用的液体供给到物镜的前端与基板之间；第1除去机构(20～22)，在基板的观察后，将观察用的液体除去；第2供给机构(17～19)，将与由第1除去机构(20～22)除去的观察用的液体不同的清洗用的液体供给到基板中的与观察用的液体接触的区域中；和第2除去机构(20～22)，在基板的清洗后，将清洗用的液体除去。

主权项

一种液浸显微镜装置，其特征在于，具备：支承机构，支承作为观察对象的基板；液浸类的物镜；第1供给机构，将超纯水作为观察用的液体供给到上述物镜的前端与上述基板之间；第1除去机构，在上述基板的观察后，将上述观察用的液体除去；第2供给机构，将与由上述第1除去机构除去的上述观察用的液体不同的清洗用的液体，供给到上述基板中的与上述观察用的液体接触的区域；和第2除去机构，在上述基板的清洗后，将上述清洗用的液体除去。