| 发明名称 | 非致冷式红外微测热辐射计 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种非致冷式红外微测热辐射计，包括衬底基片、片状桥面和设置在桥面相对侧的两只L形桥臂。桥臂的一边端部与桥面电连接在一起，另一边端部通过电连接柱连接在基片上，在桥面与衬底基片之间形成真空间隙层。衬底基片上表面设有反射层。桥面从下至上依次包括吸收层、热敏层和钝化层；桥臂从下至上依次包括热阻层和电导层。其中桥面的吸收层和钝化层的厚度均为2800-3200。本发明中，桥面的吸收层和钝化层的厚度均为2800-3200，二者的厚度比较接近，故吸收层产生的压应力与钝化层产生的张应力更容易实现平衡，从而使桥面的结构非常稳定，即不会翘曲变形，也不会断裂或脱膜；故大幅度降低了本发明的工艺难度。 | ||
| 申请公布号 | CN101718587A | 申请公布日期 | 2010.06.02 |
| 申请号 | CN200910250392.6 | 申请日期 | 2009.12.07 |
| 申请人 | 北京广微积电科技有限公司 | 发明人 | 方辉;郭俊;雷述宇 |
| 分类号 | G01J5/00(2006.01)I;G01J5/20(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 主分类号 | G01J5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 阚梓瑄 |
| 主权项 | 1.一种非致冷式红外微测热辐射计，包括含有读出信号集成电路的衬底基片(10)、片状桥面(20)和设置在所述桥面(20)相对侧并与桥面(20)位于同一平面内的两只L形桥臂(30)，其中所述桥臂(30)的一边端部与所述桥面(20)电连接在一起，另一边端部通过电连接柱(40)连接在所述基片(10)上，从而在所述桥面(20)与所述衬底基片(10)之间形成真空间隙层(50)；所述衬底基片(10)上表面设有一层反射层(11)；所述桥面(20)从下至上依次包括吸收层(21)、热敏层(22)和钝化层(23)；所述桥臂(30)从下至上依次包括热阻层(31)和电导层(32)；其特征在于：所述桥面(20)的吸收层(21)和钝化层(23)的厚度均为2800-3200<img file="F2009102503926C0000011.GIF" wi="67" he="51" /> | ||
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区西环南路18号B座117室 | ||