一种光刻机硅片台双台交换方法及系统

摘要

一种光刻机硅片台双台交换方法及系统，该系统含有基台、两个硅片台、两个X方向直线导轨、两个Y方向直线导轨、两个硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元；所述系统还包括两个主驱动单元，Y方向导轨在主驱动单元驱动下可实现沿X方向的移动和基台平面内的旋转运动；当两Y方向导轨旋转至沿X方向移动互不干涉时，两Y方向导轨带着硅片台沿X方向相向移动，当两Y方向导轨由相向移动转变为反向移动时，两Y方向导轨则做反向旋转运动，即可实现两个硅片台的位置交换；本发明采用两个导轨同时旋转，节约了双硅片台交换时间，简化了系统结构，提高了系统的效率、空间利用率和精度，还避免了硅片台尺寸一致性、零部件加工和装配的极高精度要求等缺陷。

主权项

一种光刻机双硅片台交换方法，其特征在于该方法按如下步骤进行：a)两硅片台交换位置时，首先，第一主驱动单元(10)驱动第一Y方向导轨(4)及第一硅片台(3)在基台(5)平面内做顺时针方向旋转运动，同时第二主驱动单元(13)驱动第二Y方向导轨(9)及第二硅片台(8)在基台(5)平面内也做顺时针方向旋转运动，且第一硅片台辅助驱动单元(11)驱动第一硅片台(3)沿第一Y方向导轨(4)朝向第一主驱动单元(10)方向运动，第二硅片台辅助驱动单元(12)驱动第二硅片台(8)沿第二Y方向导轨(9)朝向第二主驱动单元(13)方向运动；b)当两Y方向导轨旋转至沿X方向移动时互不干涉时，第一主驱动单元(10)驱动第一Y方向导轨(4)及第一硅片台(3)沿X负方向运动，同时第二主驱动单元(13)驱动第二Y方向导轨(9)及第二硅片台(8)沿X正方向运动，且第一单自由度辅助驱动单元(1)沿X负方向运动，第三单自由度辅助驱动单元(15)沿X正方向运动；c)当两Y方向导轨由相向移动转变为反向移动时，两Y方向导轨带动硅片台做反方向旋转运动，且第一硅片台辅助驱动单元(11)驱动第一硅片台(3)沿第一Y方向导轨(4)远离第一主驱动单元(10)方向运动，第二硅片台辅助驱动单元(12)驱动第二硅片台(8)沿第二Y方向导轨(9)远离第二主驱动单元(13)方向运动；同时，第二单自由度辅助驱动单元(7)运动至第二Y方向导轨(9)的对应位置并与之对接，并与第二主驱动单元(13)及第二辅助驱动单元(12)共同将第二硅片台(8)驱于曝光工位，第四单自由度辅助驱动单元(16)运动至第一Y方向导轨(4)的对应位置并与之对接，并与第一主驱动单元(10)及第一辅助驱动单元(11)共同将第一硅片台(3)驱于预处理工位，这样就完成了第一硅片台(3)和第二硅片台(8)的位置交换，并进入下一循环。