发明名称 Improvements in method of burning in photoresists
摘要
申请公布号 GB928890(A) 申请公布日期 1963.06.19
申请号 GB19620013790 申请日期 1962.04.10
申请人 MASTER ETCHING MACHINE CO. 发明人
分类号 C23F1/02;G03F7/40;H05K3/06 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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