发明名称 SCANNING INTERFEROMETER FOR ASPHERIC SURFACES AND WAVEFRONTS
摘要
申请公布号 EP1444482(B1) 申请公布日期 2010.05.26
申请号 EP20020789681 申请日期 2002.11.15
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 KUECHEL, MICHAEL
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01J9/02;G01M11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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