晶圆清洗设备的滚轮装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆清洗设备的滚轮装置，包括一个转轴单元及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元。该转轴单元包括一支呈长杆状的芯棒及一个包覆结合在芯棒外围的轴套。每一滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。通过在上述轴套内埋藏有芯棒，可强化转轴单元的刚性及笔直度，避免发生弯挠的情况，所以能提升输送制程的准确性及精密度。

主权项

一种晶圆清洗设备的滚轮装置，包括：一个转轴单元及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元；其特征在于，该转轴单元包括一支呈长杆状的芯棒及一个包覆结合在该芯棒外围的轴套，每一个滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。