| 发明名称 | 单偏振器聚焦光束椭偏计 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种单偏振器聚焦光束椭偏计，更具体地涉及一种具有简化结构的聚焦光束椭偏计，在该简化结构中，单个偏振分束器起着起偏器、分束器和偏振分析器的作用。在采用的测量方法中，多入射面测量方法被应用于多入射角，因此可以分析试样的光学性质的准确信息，即，薄膜情况下该薄膜的厚度和折射率。 | ||
| 申请公布号 | CN101715539A | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200880021195.0 | 申请日期 | 2008.11.11 |
| 申请人 | 韩国标准科学研究院 | 发明人 | 赵龙在;诸葛园;赵贤模 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉 |
| 主权项 | 一种椭偏计，该椭偏计包括：光源(210)；分束部(220)，用于将所述光源(210)中产生的光分离成偏振光；物镜(230)，用于将分束部(220)所分离的部分光照射到试样(240)上；光电探测器(250)，用于利用多个单位元件来探测从所述试样(240)反射后穿过所述物镜(230)和所述分束部(220)的光；以及中央处理单元(260)，用于针对各入射角沿着360°的多入射面通道将所述光电探测器(250)探测到的光的强度校正为与所述光电探测器(250)的所述单位元件相对应的值，并对校正后的值进行处理。 | ||
| 地址 | 韩国大田广域市 | ||