| 发明名称 | 成膜装置的基板安装方法以及成膜方法 | ||
| 摘要 | 一种成膜装置的基板安装方法，其在成膜装置上设置蒸发源和与该蒸发源相对的夹头(14)，将基板安装保持在所述夹头(14)上，其中，在配置于所述夹头(14)与所述蒸发源之间的掩模(28)上载置玻璃基板(26)，使所述掩模(28)与玻璃基板(26)一起接近所述夹头(14)，使玻璃基板(26)接触到所述夹头(14)，保持玻璃基板(26)。 | ||
| 申请公布号 | CN101090996B | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200680001553.2 | 申请日期 | 2006.02.22 |
| 申请人 | 三井造船株式会社;长州产业株式会社 | 发明人 | 片冈达哉;长尾兼次;齐藤谦一 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 一种成膜装置的基板安装方法，该成膜装置对应于掩模图案在基板上进行成膜，其特征在于，在将基板设置于夹头面之前，先将其载置于基板下部的掩模上，保持该状态将其与掩模整体夹持在夹头面上，从而消除夹持基板时的挠曲，而进行安装保持，然后，使所述掩模下降进行所述基板与所述掩模的位置对准。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||