晶圆加热器

摘要

传统的晶圆加热器(Heater)，系于化学沉积制程(CVD process)的反应腔体中提供一个均匀的发热平台，使沉积层厚度的均匀度达到均一化，为其主要的功能。本创作之晶圆加热器，系针对既有之加热器改良其缺点，并重新设计整体加热器之组合方式；藉由焊接及各部零件组合方式的革新，大幅降低在使用过程中，因电浆气体对金属表面及金属焊道的侵蚀而发生真空泄漏的机率，进而延长其使用寿命，并且增加后续对该加热器进行翻修成功的机率及次数，降低晶圆的生产成本。

主权项

一种晶圆加热器，包含：一圆盘状的加热本体，内部崁入加热管环绕圆盘本体，此为该加热器之上盖；及一圆盘状的下盖，与上盖在圆环外径的侧面上焊接在一起；及一密封环管，其位置位于圆盘状的上、下盖中间，且焊接于加热器之上盖及下盖上；及一垂直支撑轴，内部包含有两条导热线，沿着垂直轴连接至圆盘本体之加热管上，在该轴的上方亦有一个直径较小的支撑圆盘做为整个加热器之固定及方向定位用；及一支热电偶管，沿着垂直轴连接至圆盘本体的上盖上。