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发明名称 Verfahren zur Herstellung von mikrobearbeiteten Anordnungen
摘要
申请公布号 DE60141737(D1) 申请公布日期 2010.05.20
申请号 DE2001641737 申请日期 2001.10.08
申请人 EASTMAN KODAK CO.;IMEC 发明人 WIVROUW, ANN;DE VRIES, ATZE;DE MOOR, PIET;HASPELAGH, LUC;PARMENTIER, BRIGITTE;VERBIST, AGNES;ANAGNOSTOPOULOS, CONSTANTINE
分类号 B81C1/00;G03F7/20;H01L29/04 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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