皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台

摘要

本实用新型涉及皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，在Z平台底板上固定Z固定板，Z固定板上安装竖立的导轨，在导轨上安装可沿导轨上下运动的升降板，用于控制升降板上下运动的压电陶瓷电机安装在Z平台底板上，在升降板的前侧面固定一竖立的前侧板，在升降板的后侧面固定一竖立的后侧板，前侧板与后侧板为平行对称设置；在Z固定板上设置传感器，在前侧板或后侧板的内侧面上设置传感器感应片；在Z固定板上设置读数头，在前侧板或后侧板的内侧面上贴有光栅尺；在前侧板和后侧板上放置治具板。本实用新型采用分辨率高的压电陶瓷电机控制Z轴启停和升降动作，光栅尺保证其升降定位精度，配重机构解决陶瓷电机动态推力和静态保持力不足的问题。

主权项

皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于：在Z平台底板(1)上固定Z固定板(2)，在所述Z固定板(2)上安装竖立的导轨(3)，在所述导轨(3)上安装一可沿导轨(3)上下运动的升降板(4)，用于控制升降板(4)上下运动的压电陶瓷电机(7)安装在Z平台底板(1)上，所述压电陶瓷电机(7)驱动升降板(4)沿导轨(3)上下运动，在所述升降板(4)的前侧面固定一竖立的前侧板(8)，在所述升降板(4)的后侧面固定一竖立的后侧板(9)，前侧板(8)与后侧板(9)为平行对称设置；还在所述Z固定板(2)上设置传感器(10)，相应地，在前侧板(8)或后侧板(9)的内侧面上设置传感器感应片(11)；在所述Z固定板(2)上设置读数头，相应地，在前侧板(8)或后侧板(9)的内侧面上贴有光栅尺(12)；在所述前侧板(8)和后侧板(9)上放置治具板(16)，在所述治具板(16)上沿横向设置一横定位块(17)、沿纵向设置一纵定位块(18)。