为在活性气体发生器中点燃和维持等离子体的供电方法和装置

摘要

根据第一方面，提供一种供电以在活性气体发生器中点燃等离子体的电源和方法，包括：(i)将包括谐振电感和谐振电容的串联谐振电路耦合在开关电源和变压器之间，所述变压器具有变压器主动部分和等离子体继发部分；(ii)横跨变压器主动部分提供来自谐振电容的基本谐振的AC电压，由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分；以及(iii)一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。根据另一方面，可将双极型高电压点燃电极与感性能量耦合协同使用以帮助等离子体点燃。

主权项

一种供电以在活性气体产生器中点燃等离子体的方法，包括：感性地耦合在等离子体腔室远端的电源，所述等离子体腔室包括能够被转化成等离子体的气体，所述远端电源包括耦合在开关电源和变压器之间的串联谐振电路，所述串联谐振电路还包括与谐振电容串联的谐振电感以及与变压器的变压器主动部分并联的谐振电容；从横跨变压器主动部分的串联谐振电路提供基本谐振的AC电压，以在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流，所述电流将等离子体腔室中的气体转化成变压器的等离子体继发部分；以及一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。