| 发明名称 |
Apparatus for measuring semiconductor physical characteristics |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2437980(B) |
申请公布日期 |
2010.05.19 |
| 申请号 |
GB20060009545 |
申请日期 |
2006.05.13 |
| 申请人 |
OPTICAL REFERENCE SYSTEMS LIMITED |
发明人 |
CARL LYNDON GRIFFITHS;STUART JAMES CURZON IRVINE;ANDREW STAFFORD |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/41;G01N21/55;G01N21/84 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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