| 主权项 |
一种保持入射角不变的光栅衍射效率测试仪，包括外光源(1)、前置单色仪、测量单色仪和测量控制系统，其特征在于：所述前置单色仪包括入射狭缝(2)、第一平面反射镜(3)和第二平面反射镜(8)、准直凹面镜(6)、聚光物镜(7)、光栅(4)、第一转台(5)、出射狭缝(9)、前置单色仪壳体(51)、第一步进电机(52)；所述测量单色仪包括准直凹面镜(10)、被测光栅(15)、标准平面反射镜(18)、连接件(17)、第二转台(12)和第三转台(19)、第二步进电机(22)和第三步进电机(23)、第三平面反射镜(11)和第四平面反射镜(16)、聚光物镜(14)、测量单色仪壳体(13)；所述测量控制系统包括探测器(20)和控制器(21)；在所述前置单色仪壳体(51)的左右两侧分别有入射狭缝(2)和出射狭缝(9)；第一平面反射镜(3)和第二平面反射镜(8)均与入射光成45度放置，两个反射镜的反射面分别朝右左，第一平面反射镜(3)将入射光反射到准直凹面镜(6)，第二平面反射镜(8)将入射光反射到出射狭缝；准直凹面镜(6)和聚光物镜(7)对称安置，且准直凹面镜(6)和聚光物镜(7)的反射面朝向下，两镜的光轴方向分别平行于前置单色仪壳体(51)左右边线，两镜的焦点分别位于入射狭缝(2)和出射狭缝(9)上，准直凹面镜(6)的反射平行光射向光栅(4)，光栅(4)的衍射光射向聚光物镜(7)，聚光物镜(7)的反射会聚光射向第二平面反射镜(8)；光栅(4)固定在第一转台(5)上，由控制器(21)通过第一步进电机(52)控制第一转台(5)的角度；在所述测量单色仪的测量光路中，反射准直镜(10)和反射聚光镜(14)对称安装在测量单色仪壳体(13)的左上方和左下方，两镜的反射面朝向右，两镜的光轴方向与壳体(13)的上下边平行，反射准直镜(10)的焦点位于前置单色仪的出射狭缝(9)，反射聚光镜(14)的焦点位于探测器(20)的光敏面，反射准直镜(10)的反射准直光射向被测光栅(15)或标准平面反射镜(18)，反射聚光镜(14)的反射会聚光射向探测器(20)光敏面；被测光栅(15)和平面反射镜(18)由连接件(17)连接并固定在第三转台(19)上，第三转台(19)由第三步进电机(23)驱动旋转不同角度进行不同入射角的测试；第三平面反射镜(11)和第四平面反射镜(16)相向安装，两镜反射面分别朝向右左，安装方向与入射光成45度角，第三平面反射镜(11)的反射光射向第四平面反射镜(16)，第四平面反射镜(16)的反射光射向反射聚光镜(14)；第二步进电机(22)和第三步进电机(23)通过控制器(21)控制，控制器(21)控制第三步进电机(23)驱动第三转台(19)旋转180度后更换测量模式，由衍射光测量模式切换入射光测量模式或者反向切换，完成一次衍射效率的测试；探测器(20)的测量结果和衍射效率计算由控制器(21)计算处理并显示。 |
