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发明名称 Turbomolekularpumpe
摘要
申请公布号 DE50214282(D1) 申请公布日期 2010.04.29
申请号 DE20025014282 申请日期 2002.08.08
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 STANZEL, JOERG
分类号 F04D19/04;F04D29/54;F04D29/58 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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