| 发明名称 |
EINEN PLANARWELLENLEITER-LECKMODUS VERWENDENDER ZEITLICH HOCH AUFLÖSENDER ULTRAEMPFINDLICHER OPTISCHER SENSOR UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602006012854(D1) |
申请公布日期 |
2010.04.22 |
| 申请号 |
DE200660012854T |
申请日期 |
2006.09.25 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
FREY, LAURENT |
| 分类号 |
H01L31/00;G01T1/16;H01L39/24 |
主分类号 |
H01L31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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