等离子刻蚀机排风系统

摘要

本实用新型实施例公开了一种等离子刻蚀机排风系统，包括：排水管道，所述排水管道为与出气管道相连的排风管道延伸出来的一部分；锁水装置，所述锁水装置与所述排水管道相连。本实用新型实施例增加了一段与排风管道和出气管道相通的排水管道以及与所述排水管道相连的锁水装置，由于所述排水管道方向向下，使得排风管道中的废水可以因重力作用汇集起来，流入排水管道，然后打开锁水装置，即可将废水排出。本实用新型实施例提供的排风系统简单易控，解决了废水不能及时排出导致的污染问题，改善了真空泵泵房的工作环境，减少了维修的工作量和维护费用，节约了维护成本。

主权项

一种等离子刻蚀机排风系统，其特征在于，包括：排水管道，所述排水管道为与出气管道相连的排风管道延伸出来的一部分；锁水装置，所述锁水装置与所述排水管道相连。