晶圆分类机之双向作动机构

摘要

一种晶圆分类机之双向作动机构，该双向作动机构应用于一种利用光学检测设备进行晶圆定位、瑕疵辨识的晶圆分类机；本案之特征在于使光学检测设备所属之光学镜头模组可在一与晶圆表面平行的二维平面上做X轴和Y轴的移动。

主权项

一种晶圆分类机之双向作动机构，一晶圆检测平台上至少设置一晶圆承载平台和至少一光学镜头模组；其特征在于：该光学镜头模组系装设在一X轴线性移动器，该X轴线性移动器装设在一Y轴线性移动器上，该Y轴线性移动器定位于该晶圆检测平台，据此使该光学镜头模组可沿着该晶圆检测平台的X轴和Y轴移动。