电浆蚀刻机台及其顶出销

摘要

一种电浆蚀刻机台的顶出销，包含有一绝缘外壳与一导电中心销安装于绝缘外壳之中。导电中心销在顶起基板时，可直接接触基板，以移除基板上的残留静电。绝缘外壳则形成抗腐蚀且高阻抗的保护层。导电中心销可进一步设置一安全槽，以避免造成下电极的损伤，也可以设置一扳手固定槽，以方便固定顶出销。一种电浆蚀刻机台包含一上电极、一下电极、一安装于该下电极的下方的升降装置以及多个顶出销，顶出销设置于该升降装置。本发明可有效地导引基板与下电极上残留的静电至接地线路，避免静电造成玻璃基板的损伤。

主权项

一种顶出销，用于一电浆蚀刻机台，以顶起一基板，其特征在于，该顶出销包含：一绝缘外壳；以及一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中，并在顶起该基板时，接触该基板，以移除该基板上的残留静电。