低应力抛光装置

摘要

一种低应力抛光装置，包含有：一基座；复数驱动器，彼此相隔预定距离设于该基座，各该驱动器具有一驱动杆以及一缓冲弹簧，该缓冲弹簧连结于该驱动杆，用以对该驱动杆提供适当的预推力，各该驱动杆的末端具有一缓冲垫；至少一驱动电路，电性连接于该等驱动器，对该等驱动器提供驱动控制；一作用板，设于该等缓冲垫；以及一研磨垫，设于该作用板。藉此，本发明所产生的振动模态可对晶圆的表面产生动态的压力，藉以破坏晶圆表面的生成物，可用于低介电常数整合铜金属制程的抛光。

主权项

一种低应力抛光装置，包含有：一基座；复数驱动器，分别为一压电积层致动器而可产生振动，彼此相隔预定距离设于该基座，各该驱动器具有一驱动杆以及一缓冲弹簧，该缓冲弹簧连结于该驱动杆，用以对该驱动杆提供适当的预推力，各该驱动杆的末端具有一缓冲垫；至少一驱动电路，电性连接于该等驱动器，对该等驱动器提供驱动控制，该驱动电路驱动该等驱动器时，系产生平行振动或驻波或行波模态振动；一作用板，系金属材质，设于该等缓冲垫，该等缓冲垫彼此等间隔位于该作用板之一面；以及一研磨垫，设于该作用板。