鎓盐化合物、聚合物化合物、化学放大型抗蚀剂组合物、以及形成图案的方法

摘要

提供了一种由式(1)表示的化合物，其中R₁表示氢原子、三氟甲基、具有1-5个碳原子的烷基、或具有1-5个碳原子的烷氧基；A表示由式(2)或式(3)代表的基团，其中R₂、R₃、R₄、R₅和R₆各自独立地表示取代或未取代的具有1-20个碳原子的烷基、取代或未取代的具有3-10个碳原子的烯丙基、取代或未取代的具有1-10个碳原子的全氟烷基、取代或未取代的苄基、或取代或未取代的具有6-30个碳原子的芳基；且两个或更多个R₂、R₃和R₄可以彼此连接，以形成饱和或不饱和的碳环，或者饱和或不饱和的杂环；包含根据本发明的式1化合物制备的聚合物化合物的化学放大型抗蚀剂组合物提供了对远紫外辐射敏感的化学放大型抗蚀剂，远紫外辐射的代表为KrF准分子激光或ArF准分子激光。所述抗蚀剂组合物不太依赖于基材，并具有优异的粘合性、在目标波长区中的优异的透明性、以及优异的耐干法蚀刻性，并且从所述抗蚀剂组合物可以形成感光度、分辨率和显影性优异的抗蚀图。

主权项

1.一种由下式(1)表示的化合物：[式1]其中R₁表示氢原子、三氟甲基、具有1-5个碳原子的烷基、或具有1-5个碳原子的烷氧基；A表示由下式(2)或下式(3)代表的基团：[式2][式3]R₅-I-R₆其中R₂、R₃、R₄、R₅和R₆各自独立地表示取代或未取代的具有1-20个碳原子的烷基、取代或未取代的具有3-10个碳原子的烯丙基、取代或未取代的具有1-10个碳原子的全氟烷基、取代或未取代的苄基、或取代或未取代的具有6-30个碳原子的芳基；且两个或更多个R₂、R₃和R₄可以彼此连接，以形成饱和或不饱和的碳环，或者饱和或不饱和的杂环。