有机EL器件制造装置及其制造方法以及成膜装置及成膜方法

摘要

本发明提供一种具有设备组构造，能缩短生产线的长度，空间效率高的有机EL器件制造装置或其制造方法，或者成膜装置或成膜方法。其串联设有多个作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交接室，以及将上述衬底在上述交接室和上述多个处理部之间进行搬运的搬运机构；在一个上述真空处理室或多个上述真空处理室中设置多个上述处理部，将上述多个处理部中的至少两个以上的处理部邻接配置在上述搬运机构的一侧；将衬底从搬入负载室搬入，借助于上述设备组，在向搬出负载室搬运的过程中对上述搬运衬底的搬运角度进行修正。

主权项

1.一种有机EL器件制造装置，其具有作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交接室，以及将上述衬底在上述交接室和上述多个处理室之间进行搬运的搬运机构；其特征在于：在一个上述真空处理室或多个上述真空处理室中设置多个上述处理部，将上述多个处理部中的至少两个以上的处理部邻接配置在上述搬运机构的一侧。