发明名称 Vorrichtung zur Plasmaverarbeitung ein- oder zweidimensionaler Artikel
摘要
申请公布号 DE602007004656(D1) 申请公布日期 2010.03.25
申请号 DE200760004656T 申请日期 2007.07.16
申请人 APOSTOLO, GIORGIO 发明人 APOSTOLO, GIORGIO
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
地址