太阳能电池用透明导电性基板的制造方法

摘要

本发明提供氧化锡层的电阻小且氧化锡层的近红外光的吸收量少的太阳能电池用透明导电性基板。它是基体上从所述基体侧开始至少依次具备氧化硅层以及与该氧化硅层邻接的多层层叠的氧化锡层的太阳能电池用透明导电性基板，其中，所述多层层叠的氧化锡层中，至少分别具有1层掺杂了氟的氧化锡层和未掺杂氟的氧化锡层。

主权项

1.太阳能电池用透明导电性基板的制造方法，它是制备基体上从所述基体侧开始至少依次具备氧化硅层以及与该氧化硅层邻接的多层层叠的氧化锡层这2种层的、所述多层层叠的氧化锡层中，至少分别具有1层掺杂了氟的氧化锡层和未掺杂氟的氧化锡层的太阳能电池用透明导电性基板的制造方法，在形成了所述氧化硅层的所述基体上，在使所述基体移动的同时，从沿所述基体的移动的方向配置的3个气体供给装置吹入氟化氢浓度从上游至下游提高的原料气体，吹入所述氟化氢浓度以从上游至下游的顺序、以HF/SnCl4的摩尔比表示依次为0、0.4、0.4的原料气体，以形成所述氧化锡层。