组装及操作电子器件制造系统的方法和设备

摘要

本发明提供一种用于操作一个或多个电子器件制造系统的方法，其包含以下步骤：1)使用工艺工具执行一系列电子器件制造工艺步骤，其中该工艺工具产生废物作为执行该系列工艺步骤的副产品；2)使用治理工具治理该废物；3)从第一治理资源供给向该治理工具提供治理资源；4)将治理资源供给从该第一治理资源供给变更为第二治理资源供给，其中变更该治理资源供给包括：i)从该第一治理资源供给中断该治理资源的流动；及ii)从该第二治理资源供给开始该治理资源的流动；及5)当变更该治理资源供给时及在变更之后，继续使用该工艺工具执行该系列工艺步骤。

主权项

1.一种用于操作一个或多个电子器件制造系统的方法，包括：使用工艺工具执行一系列电子器件制造工艺步骤，其中该工艺工具产生废物作为副产品；使用治理工具治理该废物；从第一治理资源供给向该治理工具提供治理资源；将治理资源供给从该第一治理资源供给变更为第二治理资源供给，其中变更该治理资源供给包括：从该第一治理资源供给中断该治理资源的流动；及从该第二治理资源供给开始该治理资源的流动；及当变更该治理资源供给时及在变更该治理资源供给之后，继续使用该工艺工具执行该系列工艺步骤。