发明名称 用于生产电子照相辊构件的方法
摘要 提供一种用于制造具有高尺寸精度的电子照相辊构件的方法。该方法包括在所述辊基体构件弹性层外周面上通过等离子体CVD形成涂膜的步骤,所述辊基体构件由导电性芯轴和在所述导电性芯轴外周面上形成的弹性层构成,所述弹性层具有0.5mm至5.0mm的厚度和1MPa至100MPa的拉伸模量。所述方法的特征在于,所述步骤包括以下步骤:(1)将辊基体构件以从弹性层表面到各平板电极的距离为20mm至100mm的方式配置在平行设置于腔室中的第一和第二平板电极之间;(2)将原料气体以所述腔室内压力为13.3Pa至666.6Pa的方式导入;和(3)向所述第一平板电极供给0.3至2.0W/cm<sup>2</sup>输出的电力,同时在已经导入原料气体的腔室内在待被涂布表面的周速为6至170mm/s下旋转所述辊基体构件,由此在腔室内产生等离子体,从而在弹性层表面上形成涂膜。
申请公布号 CN101669074A 申请公布日期 2010.03.10
申请号 CN200880013492.0 申请日期 2008.04.23
申请人 佳能株式会社 发明人 山内健一;佐藤秀纪;阿南严也
分类号 G03G15/08(2006.01)I;C23C16/42(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I 主分类号 G03G15/08(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人 刘新宇;闫俊萍
主权项 1.一种用于生产电子照相辊构件的方法,所述电子照相辊构件包含具有导电性芯轴和在所述导电性芯轴外周面上形成的弹性层的辊基体构件,所述弹性层具有0.5mm以上至5.0mm以下的厚度和1MPa以上至100MPa以下的拉伸模量,所述方法包括在所述弹性层外周面上通过等离子体CVD形成膜的步骤,其中所述步骤包括以下步骤:(1)将所述辊基体构件以以下方式放置于腔室内在相互平行配置的第一和第二平板电极之间:所述弹性层表面与各平板电极之间的距离为20mm以上至100mm以下;(2)将原料气体供给至所述腔室内,以具有13.3Pa以上至666.6Pa以下的压力;和(3)向所述第一平板电极施加具有0.3W/cm2以上至2.0W/cm2以下输出的电力,同时在已经供给原料气体的腔室内旋转所述辊基体构件,以使得待被处理面的周速为6mm/s以上至170mm/s以下,从而在所述腔室内产生等离子体,并在所述弹性层表面上形成膜。
地址 日本东京都