光学装置及光学设备

摘要

本发明的光学装置(3)，具备：各光学元件(31、32)；基座(34)；和各元件保持体(35)，其对各光学元件(31、32)分别可以保持地构成，在内部分别具有使冷却流体可以流通的保持体侧流路、通过对各光学元件(31、32)进行保持而将在保持体侧流路流通的冷却流体及各光学元件(31、32)可以热传递地进行连接。基座(34)，具备被叠层的第1板状构件(341)及第2板状构件(342)，通过将各板状构件(341、342)进行叠层而在内部形成使冷却流体可以流通的基座侧流路。各元件保持体(35)及基座(34)，互相可以连接地构成，通过互相进行连接而使保持体侧流路及基座侧流路连通。

主权项

1.一种光学装置，其具有多个光学元件，和对前述多个光学元件进行支持的基座；其特征在于：具备多个元件保持体，其能对前述多个光学元件分别进行保持地构成，在内部分别具有能使冷却流体流通的保持体侧流路，通过对前述光学元件进行保持而将在前述保持体侧流路流通的冷却流体及前述光学元件能热传递地进行连接；前述基座，具备被叠层的多个板状构件，通过将前述多个板状构件进行叠层而在内部形成能使冷却流体流通的基座侧流路；前述多个元件保持体，分别具有连通于前述保持体侧流路、用于对于前述基座进行连接的保持体侧连接部；前述基座，具有连通于前述基座侧流路、用于对于前述多个元件保持体进行连接的多个基座侧连接部；前述保持体侧连接部及前述基座侧连接部，通过互相进行连接，使前述保持体侧流路及前述基座侧流路连通，并且将以前述多个元件保持体所保持的前述多个光学元件定位到相对于前述基座的预定位置。