发明名称 ETCHANT, REPLENISHMENT SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCING COPPER WIRING USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100946873(B1) 申请公布日期 2010.03.09
申请号 KR20080039452 申请日期 2008.04.28
申请人 发明人
分类号 C23F1/18;H05K3/06 主分类号 C23F1/18
代理机构 代理人
主权项
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