发明名称 | 石英膜片 | ||
摘要 | 本发明公开了一种石英膜片,包括有基片,所述基片表面采用真空镀膜的工艺镀制一层石英玻璃,所述的基片为烧结可伐材料,所述的真空镀膜工艺主要采用其中的磁控溅射法制造。本发明采用的制作工艺简单,镀制成的石英膜片牢固可靠、不易碎、寿命长,为用户使用提高了效率,同时降低了成本。 | ||
申请公布号 | CN101660122A | 申请公布日期 | 2010.03.03 |
申请号 | CN200910145076.2 | 申请日期 | 2009.09.27 |
申请人 | 合肥皖仪科技有限公司 | 发明人 | 黄文平 |
分类号 | C23C14/10(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;B32B17/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/10(2006.01)I |
代理机构 | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 余成俊 |
主权项 | 1、一种石英膜片,包括有基片,其特征在于:所述基片表面附着通过真空镀膜方法镀制的石英玻璃层。 | ||
地址 | 230031安徽省合肥市高新区天达路71号华亿科技园皖仪大厦B幢 |