| 发明名称 |
透明光掩模的制备方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种透明光掩模的制备方法，其包括以下步骤，首先，提供一透明基板，其包括第一表面与第二表面。其次，将一参照板贴附于并完全覆盖该第一表面，该参照板上设有定位基点。以参照板上的定位基点为基准于该第二表面上贴附一层图案化光掩模。该透明光掩模的制备方法对位简单，节约成本。 |
| 申请公布号 |
CN101661218A |
申请公布日期 |
2010.03.03 |
| 申请号 |
CN200810304269.3 |
申请日期 |
2008.08.28 |
| 申请人 |
富葵精密组件（深圳）有限公司;鸿胜科技股份有限公司 |
发明人 |
陈黄伟;李文钦 |
| 分类号 |
G03F1/00(2006.01)I;G03F1/14(2006.01)I |
主分类号 |
G03F1/00(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
提供一透明基板、其包括第一表面与第二表面；将一参照板贴附于并完全覆盖所述第一表面，所述参照板上设有定位基点；以参照板上的定位基点为基准于所述第二表面上贴附一层图案化光掩模。 |
| 地址 |
518103广东省深圳市宝安区福永镇塘尾工业区工厂5栋1楼 |
