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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1055250(B1) 申请公布日期 2010.02.17
申请号 EP19990958406 申请日期 1999.12.10
申请人 SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS PLC 发明人 BHARDWAJ, JYOTI, KIRON;LEA, LESLIE MICHAEL
分类号 B01J19/08;H01J37/32;C23C16/505;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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