发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE USING DUAL DAMASCENE PROCESS
摘要
申请公布号 KR100941629(B1) 申请公布日期 2010.02.11
申请号 KR20020084259 申请日期 2002.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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