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发明名称 Beleuchtungsvorrichtung für Ladungsträgerteilchen-Lithographiegerät
摘要
申请公布号 DE60140918(D1) 申请公布日期 2010.02.11
申请号 DE20016040918 申请日期 2001.05.25
申请人 ELITH LLC;AGERE SYSTEMS GUARDIAN CORP. 发明人 KATSAP, VICTOR;KRUIT, PIETER;MOONEN, DANIEL;WASKIEWICZ, WARREN K.
分类号 G21K5/04;H01J37/12;G03F7/20;H01J37/04;H01J37/063;H01J37/065;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
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