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发明名称
ROLL TYPE NANOIMPRINT LITHOGRAPHY USING INDUCTION HEATING
摘要
申请公布号
KR100940848(B1)
申请公布日期
2010.02.05
申请号
KR20080045657
申请日期
2008.05.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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